故障分析と敏感材料の研究に用いられる高真空原子間力顕微鏡

Park NX−Hivacは、故障解析エンジニアに高真空環境を提供することにより、測定感度及び原子間力顕微鏡測定の再現性を向上させる。一般的な環境や乾燥N 2条件に比べて、高真空測定は精度が高く、再現性がよく、針先やサンプルの損傷が低いなどの利点があるため、ユーザーは走査拡散抵抗顕微鏡（SSRM）のドーパント濃度など、さまざまな故障解析アプリケーションにおける多くの信号応答を測定することができる。

Park NX−Hivacは真空環境における高精度と高分解能測定の材料科学研究を酸素と他の薬剤の影響から遠ざける。

高真空条件下で走査拡散抵抗顕微鏡測定を実行することで、必要な針先を減らすことができる・試料は相互に力を加え、それによって試料と針先への損傷を大幅に低減する。これにより、各針先の寿命を延長し、スキャンをより低コストで便利にし、空間分解能と信号対雑音比を高めることでより正確な結果を得ることができる。そのため、NX-Hivacを用いた高真空走査拡散抵抗顕微鏡測定は、故障解析エンジニアがそのスループットを増加させ、コストを削減し、正確性を高める賢明な選択と言える。

Park Hivacマネージャ

NX-Hivac真空自動制御

Hivacマネージャは、論理的かつ視覚的に真空条件を精密に制御し、抽気と排気プロセスで高真空を実現するためにクリックします。各プロセスは色と図示の変化によって直感的に監視され、1クリックで真空の操作順序を心配する必要はありません。原子間力顕微鏡の使用をより迅速かつ簡便にする真空制御ソフトウェア。

Park NX-Hivac技術パラメータ

スキャナ

Zスキャナ

フレキシブルブート高推力スキャナ

そうさはんい:15µm（オプション30µm）
こうどしんごうざつおんレベル:30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XYスキャナ

閉ループ制御のフレキシブルガイドXYスキャナ

そうさはんい: 100 µm × 100 µm
（オプション50µm×50µm）

くどうだい

Zシフトテーブルストローク範囲: 24 mm (Motorized)
フォーカスサンプルテーブルストローク範囲 : 11 mm (Motorized)
XY変位テーブルストローク範囲: 22 mm x 22 mm (Motorized)

サンプルラック

サンプルサイズ:寸法の上限は 50 mmx 50 mm、厚さ20 mmまで
サンプル重量 :< 500="">

光学

10倍長動作距離レンズ
サンプル表面とカンチレバーの直観同軸画像
視野 : 840×630µm（10倍対物レンズ付き）
CCD: 5 M pixel

物理情報

ないぶしんくうしつ:300 mm x 420 mm x 320 mm
がいぶしんくう (including granite & pump) :800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

しんくうレベル:通常より小さい 1 x 10-5torr
キャリアポンプ速度 :タービンとドライポンプを使用して約5分以内に10に到達-5torr

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御およびデータ収集ソフトウェア
スマートモードの高速設定と簡易イメージング
手動モードの使用とより精密なスキャン制御

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア

しんくうかんりそうち

自動真空制御ソフトウェア

でんし

統合機能
4チャネルの柔軟なデジタル位相同期増幅器
ばね定数較正（熱法、オプション）
数値＃スウスウ＃Q制御

外部信号アクセス
20個の埋め込み信号入出力ポート
5つのTTL出力：EOF、EOL、EOP、変調および交流バイアス